隋唐时期，封建监察制度走向成熟，法网更为严密。御史台以御史大夫为台长，中丞(隋避杨忠讳，称治书侍御史)为辅。阴阳五行说以为监察司法机关主阴，北方为阴，所以唐代御史台的大门向北而开。在这阴森森的鬼地方，不知坑害了多少无辜良民，但它也确曾惩办过一些贪猾残暴的官吏和土豪，起过一些好的作用。
御史台下分设三院：
台院
置侍御史四人，负责纠举朝廷百官。他们要弹劾人，只要皇帝批准了，都无须让御史台的顶头上司们知道。弹劾之时，他们穿着庄肃的法服，对着皇帝和大臣高声宣读弹文，被弹之人，须退出朝班，待罪于朝堂。高宗时权相李义府为侍御史王义方所弹劾，想赖在殿上，随时向高宗乞哀，“义方三叱”，李义府不得高宗为他声援，只好灰溜溜地退出了朝班。
殿院
置殿中侍御史，玄宗开元年问定制为六人，主要执掌朝列班次之整肃，对乱班者加以弹劾。
唐太宗时殿中侍御史唐临当值，见其上司韦挺出班与朝廷重臣江夏王李道宗讲话，唐临当即上前警告；“王乱班，将弹之”；，李道宗忙分辩：我这是在和你的上司谈话呢！唐临毫不退让，更称：“大夫亦乱班"，韦挺“失色而退，同列莫不惊动！”这就维护了皇帝的独尊和朝堂上的严肃。
察院
置监察御史，开元中定制为十人。其职权十分广泛，主要是内察尚书六部，外察郡县，观省民情，按巡官吏，惩治奸猾。这个制度确实起到过澄清吏治的好作用。出巡御史为何会使地方官吏们又惧又怕呢?这是因为他们是代表着皇帝出巡的。封建官吏，管他神通多大，也不敢公然反对皇帝老子的，所以监察御史气派极大。
中唐时与白居易齐名的诗人元稹，曾做过监察御史。他出巡时，竟敢和当时专权跋扈的宦官争驿站里的上好房间，尽管他被宦官打得头破血流。皇帝对这场闹剧实在无法处理，一个是自己的宠奴，一个是自己的耳目，只好和稀泥地宣布；以后这两类人等，谁先到驿，谁就住好房间，以先来后到准则行事。
唐代还首先把规谏之职制度化，以前历代虽零零碎碎置有些谏官，但废置无恒。唐代明确规定中书、门下两省分领一批谏官富左右散骑常侍、左右谏议大夫，左右补．阙、左右拾遗，左属门下，右归中书。谏官在唐代政治中发挥过良好的作用，一代诤臣魏征就曾担任过谏议大夫，而“诗圣”杜甫也做过左拾遗呢，后人尊称老杜为杜拾遗即源出于此。