秦朝于每郡置监御史一人，以监察地方。
西汉初，省废。武帝时，为了加强对地方的控制，于元封五年（前106年），分全国为十三个州部（监察区），每个州部设刺史一人，以监察地方。刺史以六条问事，一条是监察强宗豪右，五条是监察郡守、尉和王国相。征和四年（前89年），又于首都所在地设司隶校尉，掌纠察京师百宫（三公除外）和三辅（京兆、冯翊、扶风）、三河（河东、河内、河南）、弘农七郡。
这套监察制度比秦朝的监察制度严密得多，进一步加强了皇帝对整个官僚机构的控制。
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